聚酰亚胺通常以液态形式应用,然后热固化成薄膜或层,以实现所需的特性。精确的温度均匀性是至关重要的,以避免聚酰亚胺层出现裂缝和颜色变化。颜色的均匀性对装配中使用的图案识别系统很重要,在这个过程中的低氧值有助于获得明亮的材料和良好的附着力。
PI/BCB/BPO胶的固化方法如下:
1、在半导体芯片表面涂覆一层粘附剂;
2、通过旋转方式在半导体芯片表面的粘附剂上涂覆一层液态PI/BCB/BPO胶,接着将涂覆好PI/BCB/BPO胶的半 导体芯片放入固化炉中,并通入氮气保护;
3、加热固化炉,使涂覆PI/BCB/BPO胶的半导体芯片达到一温度,稳定一段时间,使PI/BCB/BPO胶中的溶剂分布均匀
4、再将加热固化炉升高到第二温度,稳定一段时间,使PI/BCB/BPO胶中的溶剂充分挥发;
5、再将加热固化炉升高至第三温度,稳定一段时间,在半导体芯片表面形成低介电常数PI/BCB/BPO胶薄膜;
6、将加热固化炉的温度降至一预定温度,关氮气,取出样品,完成固化工艺。
PI/BCB/BPO胶的固化工艺制程如下:
在晶圆光刻之前,需要在衬底或外延片上涂布一层PI胶,然后放置在PI烘箱中固化,PI胶固化一般分为四个阶段:
1、从常温升温到100℃左右,恒温10-30min左右,使其均匀分布;根据不同PI胶和涂胶厚度均有差异;
2、升温到160-260℃,恒温10-30min左右左右,使其充分挥发;根据不同PI胶和涂胶厚度均有差异;
3、继续升温到280-360℃,恒温10-30min左右,在表面形成低介电薄膜层;根据不同PI胶和涂胶厚度均有差异;
4、从最高温度降至80℃以下,取出产品。可增加快速降温功能。
PI烘箱使用过程中需保证箱内为无氧环境(一般氧含量为50ppm以下),无尘环境(达到class100等级)。
BPO胶/PI胶/BCB胶固化烘箱要求
一、技术指标与基本配置:
1、洁净度:Class100级
2、氧含量(配氧分析仪):
高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;
低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
3、使用温度:RT~400℃,最高温度:450℃
4、控温稳定度:±1℃;
5、温度均匀度:150℃±1.5%,350℃±2%以内(空载测试);
6、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢
7、空炉升温时间:1.5h;
8、空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷);
9、智能控制系统:西门子PLC

时间:2024-11-30
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