半导体双腔充氮水冷烘箱
工作室尺寸：W600*D600*H600(mm）*2（双腔）
使用温度：RT～250℃
温度均匀性：±2%℃
升温速率：0-10℃/min，多段程序阶梯升温
智能控制系统：HMI人机界面，西门子PLC
含氧量：≤20PPM ，N2自动通断，全工艺氮气置换
降温方式：采用水冷及风冷，空炉降温时间：185~80℃，40min内；
洁净等级：Class100级
1、箱体材质：箱体内胆采用优质SUS304#镜面不锈钢材质，满焊接后经无尘化处理，表面洁净，自身不产尘。
2、无尘洁净系统：采用进口耐高温高效无框过滤器H.E.P.A， 过滤效率 99.997% @0.3UM，结合独特设计的热风循环风道，安全可靠的加热控制系统，配合充氮控制系统，确保工作室内达到class100无尘无氧的洁净防氧化环境。干燥箱全部采用不锈钢材料，完善的控制系统，使得工作室的温度更加均匀。
3、无氧充氮系统：选配：氧含量分析仪，记录数据。6点温度记录仪，双流量计节氮系统，双延时充氮控制，无氧、低氧环境下最大节省氮气消耗量。
4、温控系统：采用宇电触摸屏PID自动演算，温度精准度±0.1℃，最大120V组*100段程序，温度曲线，超温抑制，传感器断线保护，选配RJ45通讯端口。水冷系统。
5、降温系统：采用降温采用水冷式降温系统.翅片散热器鼓风水冷，当炉膛内温度开降时，鼓风机通过翅片散热器快速交换炉膛内热量，大幅缩短炉膛内的降温时间
高温烘烤：
1、氧含量≤20PPM
2、TEMP: RT+25℃- Max 450℃
高无氧：
3、UNIFORMITY: ± 1.5%
氧含量可控制20ppm以氧含量，用于银胶固化制程，升降温氮气保护，防止产品氧化
水冷降温：
水冷装置，一次烘烤会节省3-4个小时的时间，提升产品效率
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分类 |
技术参数 |
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尺寸 |
内腔 |
W710*D610*H560mm*2 |
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整机 |
W 1460mm × D 1010mm × H1840mm（参考尺寸，以内尺寸为准） |
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控制器 |
HMI人机界面 |
10寸触摸屏/PC |
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主控制器 |
西门子PLC |
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温控器 |
宇电 |
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温度 |
温度范围 |
RT+10~250℃ |
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均匀度 |
±1.5%（空载） |
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升温时间 |
35~180℃，30min内 |
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降温时间 |
185~80℃，40min内 |
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温度传感器 |
K型热电偶 |
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冷却 |
水冷 |
0.2~0.5Mpa |
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压缩气体 |
CDA |
0~100L/Min |
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氮气 |
0~200L/Min |
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材料 |
加热器 |
镍铬合金丝/铠装式不锈钢加热管 |
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加热功率 |
单腔7kw |
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保温棉 |
120k岩棉 |
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密封条 |
双层防静电硅橡胶 |
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风路 |
内循环风 |
由右向左水平送风 |
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安全保护 |
加热器保护 |
机械师超温保护 |
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腔体内超温保护 |
电子式超温保护 |
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联锁装置 |
气缸/电磁锁+光电传感器/微动开关 |
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电源 |
AC380V 50HZ 三相四线制 |
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