高温真空固化炉（晶圆固化炉）-产品中心-逸流电子

非标定制
您当前的位置：首页 > 产品中心 - 非标定制 - 高温真空固化炉（晶圆固化炉）

高温真空固化炉（晶圆固化炉）

本产品适用于半导体晶圆，硅片制造过程中对聚酰亚胺PSPI一种新型工程高分子材料固化的专用设备，烘箱的温度最大可达450°C

在线询价联系我们

详细介绍

本产品适用于半导体晶圆，硅片制造过程中对聚酰亚胺PSPI一种新型工程高分子材料固化的专用设备，烘箱的温度最大可达450°C

性能特点
真空度可达10pa
箱体内的氧含量:≤20ppm，提供氧含量的检测接口
日本优易控制触摸屏，升温斜率控制.

内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作。